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更新時(shí)間：2026-03-04 
瀏覽次數(shù)：137一、系統(tǒng)概述
SONOSYS® Megasonic 雙噴嘴兆聲波清洗系統(tǒng)是一款專為精密清洗設(shè)計(jì)的設(shè)備，其核心技術(shù)是通過雙噴嘴換能器產(chǎn)生兆聲波，并借助流動(dòng)液體（如去離子水）將能量傳遞至基板表面，實(shí)現(xiàn)非接觸式清潔。該系統(tǒng)能量集中，每個(gè)噴嘴約35瓦的功率可聚焦于2 x 4毫米的小區(qū)域，適用于單晶圓、掩膜、液晶顯示器、基板及微機(jī)電系統(tǒng)等精密部件的清洗。
| 參數(shù)類別 | 詳細(xì)規(guī)格 |
|---|---|
| 電氣數(shù)據(jù) | 輸出功率：70瓦（由MLM 1和MLM 2模塊組裝） 功率調(diào)節(jié)范圍：約20% - 100% 頻率范圍：950 kHz至1.05 MHz / 1.95 MHz至2.05 MHz / 2.95 MHz至3.05 MHz / 3.95 MHz至4.05 MHz 電源電壓：230 VAC；50–60 Hz |
| 機(jī)械數(shù)據(jù) | 外殼設(shè)計(jì)：19英寸機(jī)箱3/4 U 尺寸：165x185x329毫米（寬x高x深） 重量：約5.2千克 |
| 操作條件 | 環(huán)境溫度：+10°C至+40°C 濕度要求：需防止冷凝潮濕 |
| 參數(shù)類別 | 詳細(xì)規(guī)格 |
|---|---|
| 電氣數(shù)據(jù) | 高頻輸入：2 x 35瓦 頻率組合：1 MHz、2 MHz、3 MHz、4 MHz（可選組合） 換能器元件：特殊PZT壓電元件 |
| 機(jī)械數(shù)據(jù) | 外徑尺寸：74 x 79.8 x 37毫米 重量：600克 液流接口：2 x 1/8英寸NPT 電纜長度：標(biāo)準(zhǔn)3米，最長50厘米 噴嘴與清潔對象距離：5毫米至20毫米 |
該系統(tǒng)提供多種配置選項(xiàng)，用戶可根據(jù)具體需求選擇不同頻率組合的發(fā)生器型號（如13405-100、13407-070、13407-071、13406-002）及噴嘴型號（如13790-003、13790-005、13792-004、13792-005），以適配不同應(yīng)用場景。
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