解決半導(dǎo)體清洗靜電難題：NGK MEGCON PRCⅡ+超純水防帶電技術(shù)

更新時(shí)間：2026-01-07

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解決半導(dǎo)體清洗靜電難題：NGK MEGCON超純水防帶電技術(shù).png

??? 一、產(chǎn)品背景與核心功能

1. 研發(fā)背景

在半導(dǎo)體制造中，超純水因離子成分極低，清洗時(shí)容易產(chǎn)生靜電，導(dǎo)致電路破壞、表面荷電及微粒子再附著等不良現(xiàn)象。

2. 核心功能

MEGCON通過向超純水中溶解碳酸氣體（形成酸性功能水），有效消除靜電，從而解決因靜電引起的障礙，降低產(chǎn)品不良率，提升良品率。

?? 二、主要應(yīng)用場(chǎng)景

該設(shè)備廣泛應(yīng)用于對(duì)潔凈度要求極的高的精密清洗環(huán)節(jié)，具體包括：

半導(dǎo)體制造：晶圓切割（Dicing）工程清洗、高壓噴射清洗、洗滌塔（Scrubber）清洗。
顯示面板制造：液晶面板、光掩膜（Photo Mask）及光罩（Reticle）的清洗。

?? 三、產(chǎn)品技術(shù)特點(diǎn)

1. 安全與環(huán)保

微粒子混入風(fēng)險(xiǎn)低，且碳酸氣體消耗量少。
裝置進(jìn)出口的超純水壓力損失小，不影響水路系統(tǒng)。

2. 控制與性能

采用反饋控制技術(shù)，即使流量波動(dòng)，也能迅速控制至目標(biāo)比電阻值。
提供符合歐洲安全標(biāo)準(zhǔn)的CE標(biāo)記系列，支持出口。
具備大流量處理能力，滿足不同規(guī)模生產(chǎn)線的需求。

3. 工作原理

利用膜分離技術(shù)，將碳酸氣體通過膜介面溶解于超純水中。

?? 四、型號(hào)與規(guī)格參數(shù)（MEGCONⅡ+ PRC系列）

1. 產(chǎn)品系列

柜式（Cabinet Type）：型號(hào)如 PRCⅡ+ - 1000ACD，分為標(biāo)準(zhǔn)型和S型（帶蜂鳴器、雙色燈塔、腳輪）。
機(jī)架式（Rack Type）：型號(hào)如 PRCⅡ+ - 1000AD（內(nèi)置氣泵）及 FRCⅡ+ 系列（外部供氣）。

2. 性能參數(shù)

最的大流量：提供1000L/hr、2000L/hr、4000L/hr等多種規(guī)格。
控制范圍：0.1-0.5 MΩ·cm 至 0.2-2.0 MΩ·cm（視具體型號(hào)而定）。
尺寸與重量：

柜式：約520W×400D×1150H mm，重量約65-71kg。
機(jī)架式：約480W×355D×200H mm，重量約15kg。

連接口徑：Rc1/2 至 Rc1 1/4（柜式），IDφ19（機(jī)架式軟管接口）。

3. 運(yùn)行條件

超純水：壓力0.35MPa以下（常用），溫度5-35℃，水質(zhì)10MΩ·cm以上。
碳酸氣體：壓力0.1-0.2MPa，純度99.5%以上。
電源：AC100-240V（50/60Hz）。

該網(wǎng)頁(yè)詳細(xì)展示了MEGCON系列如何通過創(chuàng)新的氣體溶解技術(shù)解決半導(dǎo)體制造中的靜電難題，其精準(zhǔn)的流量控制和多種規(guī)格配置體現(xiàn)了NGK在工業(yè)精密清洗領(lǐng)域的技術(shù)實(shí)力與定制化服務(wù)能力。

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