DIC eFLOW超純水防靜電裝置：中空絲膜技術(shù)

更新時(shí)間：2026-01-07

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DIC eFLOW超純水防靜電裝置：中空絲膜技術(shù).png

eFLOW Series采用DIC自主研發(fā)的“中空絲氣液透過(guò)膜"技術(shù)，通過(guò)向超純水（DIW）中溶解二氧化碳（CO2）氣體，調(diào)節(jié)水的比電阻值，從而防止靜電引發(fā)的“灰塵再附著"及“靜電破壞"。

工作原理：超純水在中空絲膜內(nèi)部流動(dòng)，外部通入CO2氣體。氣體透過(guò)膜壁溶解于水中并離子化，賦予水導(dǎo)電性以消除靜電。
優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：

Panel Mount Type（P系列）：符合IEA（美國(guó)電子工業(yè)）標(biāo)準(zhǔn)機(jī)架安裝規(guī)范。1AP為全清潔規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)機(jī)，2AP可選全清潔規(guī)格。
Cabinet Type（C系列）：配備可容納2瓶CO2鋼瓶的機(jī)柜，內(nèi)置比電阻傳感器，可直接連接使用點(diǎn)配管。
模塊配置：1AP/1AC搭載1個(gè)模塊；2AP/2AC及3AP/3AC搭載2個(gè)模塊。

主要用于半導(dǎo)體制造及清洗過(guò)程，包括但不限于：

提供多種定制化選項(xiàng)，包括：

該裝置通過(guò)獨(dú)的特的膜技術(shù)有效解決了超純水清洗中的靜電問(wèn)題，其模塊化設(shè)計(jì)和長(zhǎng)壽命保障為半導(dǎo)體制造提供了穩(wěn)定且經(jīng)濟(jì)的解決方案。

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